特點：
? 用于高靈敏度電子束曝光、混合曝光等
? 感光波段：e-beam、deep UV(248 nm)
? 紫外曝光波段：
負(fù)膠：248nm~265nm & 290nm~330nm
? 化學(xué)放大膠，高靈敏度
? 良好的耐干法刻蝕能力
聯(lián)系人：林經(jīng)理
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