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  • 安智AZ 熱穩(wěn)定高分辨率負(fù)性光刻膠薄膠 nLOF 5510
安智AZ 熱穩(wěn)定高分辨率負(fù)性光刻膠薄膠 nLOF 5510

安智AZ 熱穩(wěn)定高分辨率負(fù)性光刻膠薄膠 nLOF 5510

  • AZ?nLOF 5110是一種薄的高分辨率負(fù)型光刻膠，具有很高的熱穩(wěn)定性。該光刻膠用于單層剝離工藝以及RIE蝕刻或離子注入，并且與基于TMAH的顯影劑兼容。使用標(biāo)準(zhǔn)的曝光、烘烤、顯影等工藝流程可得到理想的圖案，該光刻膠反應(yīng)速率非?？?，在> 200C的溫度時(shí)仍具有熱穩(wěn)定性。

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安智AZ 熱穩(wěn)定高分辨率負(fù)性光刻膠薄膠 nLOF 5510(圖1)