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ZEON 電子束光刻膠ZEP530A

ZEON 電子束光刻膠ZEP530A

ZEP530A是一種非化學(xué)放大型正型電子束光刻膠，具有優(yōu)異的分辨率和耐干蝕刻性以及寬的工藝參數(shù)。

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ZEON 電子束光刻膠ZEP530A(圖1)

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