BASIXX ST20+（?200毫米）臺(tái)式旋涂機(jī)，帶電動(dòng)介質(zhì)臂
BASIXX ST20（?200毫米）臺(tái)式旋涂機(jī)
BASIXX ST20+ 實(shí)驗(yàn)室臺(tái)式勻膠機(jī)
是一款緊湊的旋涂，顯影，清潔和干燥半自動(dòng)系統(tǒng)，旨在為科學(xué)和研究領(lǐng)域的用戶提供高效，安全和清潔的實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)。 該設(shè)備具有易于使用的界面和7英寸彩色觸摸屏。 該軟件包含程序菜單管理，例如編寫(xiě)，編輯，保存和加載。 服務(wù)區(qū)提供用于手臂和旋轉(zhuǎn)板以及介質(zhì)控制的設(shè)置選項(xiàng)。 還集成了可通過(guò)USB保存的軟件更新功能以及日志文件和程序備份功能。
特點(diǎn)：
÷ 直驅(qū)無(wú)刷微調(diào)電機(jī)
÷ 全軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)且完全可編程
÷ 具有程序菜單管理功能的軟件控制
÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋
÷ 旋轉(zhuǎn)器蓋傳感器控制
÷ 通過(guò)觸摸屏或按鈕啟動(dòng)程序
÷ 7英寸彩色觸摸屏PP制成的處理碗和臺(tái)式外殼
÷ 外殼上的電源開(kāi)關(guān)ON / OFF
÷ 配備標(biāo)準(zhǔn)的水坑噴嘴，通過(guò)水坑噴嘴注入溶劑
÷ 可拆卸處理碗和飛濺環(huán)，便于清潔
÷ 可處理圓形晶片，尺寸最大為?200mm（?8英寸）
÷ 可處理方形基板，尺寸最大為150 x 150毫米（6 x 6英寸）
÷ 標(biāo)配最多安裝3個(gè)介質(zhì)管線/噴嘴（可選：最多5個(gè)介質(zhì)管線/噴嘴）
÷ 可視真空控制儀
÷ 真空閥塊和傳感器的安全性由程序啟動(dòng)和系統(tǒng)運(yùn)行來(lái)控制
÷ 含0.5 Itr的廢液瓶
÷ 可選的帶Z軸移動(dòng)和PR分配系統(tǒng)的電動(dòng)介質(zhì)臂
÷ 可作為臺(tái)式安裝，也可做獨(dú)立裝置使用
÷ 簡(jiǎn)單且經(jīng)濟(jì)高效
÷ 專為研究所，實(shí)驗(yàn)室和基礎(chǔ)研發(fā)而設(shè)計(jì)
應(yīng)用于：旋涂，顯影，清潔和干燥
產(chǎn)品參數(shù)：
可處理襯底尺寸：直徑最大為?200mm（?8英寸）圓片，或最大為150 x 150毫米（6 x 6英寸）方片；
旋轉(zhuǎn)速度：最高10,000rpm *，（以rpm步長(zhǎng)為單位）；
加速度：最高4.000 rpm / sec *；
處理時(shí)間：1至999,9sec，以0.1秒為步；
處理碗：可更換，聚丙烯（PP）材質(zhì)
腔體：白色（PP）材質(zhì)
固定晶圓片或襯底的裝置：真空托盤(pán)；
電源：230（208）VAC / 1Phase/ N / PE / 50（60）Hz
真空：-0.8 bar / -600 Torr，管外直徑6 mm
排氣-過(guò)程：1x外徑38毫米，約 30立方米/小時(shí)
氮?dú)猓蛇x）：4土0.2 bar，PFA管外徑6 mm
CDA（可選）：8土2bar，管外徑8mm。
選配項(xiàng)：
適用各種尺寸大小的托盤(pán)
分配臂
泵
聯(lián)系人：林經(jīng)理
電 話：0755-29852340，29852450
手 機(jī)：13510161192
郵 箱：arlen.lin@szkesda.com
地 址：深圳市光明區(qū)公明街道水貝北路大新華達(dá)工業(yè)園3號(hào)203