準分子激光器: CL 5000
準分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器，由于波長短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應用上，準分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導的地位。
CL 5000系列技術(shù)參數(shù)：
激光介質(zhì) | ArF | KrF | XeCl |
波長 (nm) | 193 | 248 | 308 |
最大脈沖能量 (mJ) | 20 | 40 | 25 |
最大重復頻頻率(Hz) | |||
CL 5100 | 100 | ||
最大平均功率 (W) | |||
CL 5100 | 2 | 4 | 2.5 |
脈沖能量穩(wěn)定度(sigma, %) | < 2 | ||
光斑尺寸 (VхH, mm) | 12 х 3.5 | 12 х 4 | |
光束發(fā)散角(FWHM, mrad, VхH) | 2 х 1 | ||
脈沖持續(xù)時間 (FWHM, ns) | 8 – 12 | ||
冷卻方式 | |||
CL 5100 | 風冷 | ||
CL 5200/5300 | 水冷 | ||
重量 (kg) | 80 | ||
尺寸 (LхWхH, mm) | 780 х 330 х 583 | ||
電源 | 220 V, 50 Hz, < 1000 VA | ||
1000Kz型號可選
窄線寬型號可選，線寬0.03cm-1
F2，157nm型號可選
CL 5000系列主要特點：
陶瓷放電激光腔設計，長壽命
激光腔，電子系統(tǒng)一體化設計
功率穩(wěn)定運行模式
預混合供氣，使用簡單
計算機控制